格林斯达 图 ,石油化工废气处理技术,废气处理

   半导体废气处理

    半导体废气处理由于制程技术不断演进，使得相关供应系统等级及质量日趋精密且复杂，如毒性气体，化学药品或纯水系统等，而此物质的排放却造成环境恶化的来源之一；因此，如何处理此类高纯度且大量的毒性物质之排放，将是厂务废水，废气处理的重要工作与任务。

废水处理系统

半导体厂废水之来源，可略分为制程废水，纯水系统之废水，4s废气处理设备，废气洗涤中和液废水等三种。各排放水可分为直接排放及回收处理方式。

1.制程废水：

A.直接排放－HF浓废液，HF洗涤废水，石油化工废气处理技术，酸／碱性废水，晶圆研磨废水等五种，经各分类管线排至废水厂。

B.回收处理－**系列(Solvent，IPA)， H2SO4，废气处理，DIR70%，及DIR90%等，经排放收集委外处理或直接再利用。

2.纯水系统之废水：

直接排放－纯水系统再生时之洗涤药剂混合水（含盐酸再生／洗涤液及碱洗涤液）回收处理－系统浓缩液（逆渗透膜组，en125废气处理装置，**限外滤膜组）或是碱性再生废液。

水吸收法原理

       水吸收法原理：利用臭气中某些物质易溶于水的特性，使臭气成分直接与水接触，从而溶解于水达到脱臭目的。适用范围：水溶性、有组织排放源的恶臭气体。优点：工艺简单，管理方便，设备运转费用低 产生二次污染，需对洗涤液进行处理。缺点：净化效率低，应与其他技术联合使用，对硫醇，脂肪酸等处理效果差。

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